모든 시장을 위한 다목적 광학 검사 시스템으로

초고속, 고정밀 3D 검사를 실현합니다.

라인업에 추가된 동축 조명과 5μm 렌즈는 장치 부문에서

고정밀 검사를 지원합니다.

- 초고속 3D 검사 : 56.8cm²/초 (최적 조건)

- 초고정확도 3D검사 : 8방향 프로젝터

- 4방향 사선 이미징 검사 : 20메가픽셀 4각 카메라

- 장치 검사 초고해상도 : 5μm/동축 조명

모델별 픽셀 수

YRi-V : 12메가 픽셀

YRi-V Type HS : 25메가 픽셀

모델별 분해능 

YRi-V : 12um, 7um, 5um

YRi-V Type HS : 7um, 5um

3D 검사 속도

YRi-V : 12um - 56.8cm2/sec, 7um - 19.6cm2/sec, 5um - 10.1cm2/sec

YRi-V Type HS : 7um - 30.5cm2/sec, 5um - 16.2cm2/sec 

3D 프로젝터

8프로젝터 / 4 프로젝터

3D 측정 높이

최대 25mm

적용 가능한 PCB Size

L50 x W50mm(최소) ～ L610 x W610mm(최대)

L760mm 장길이 PCB 가능(옵션)

외형 치수

L 1,252 x W 1,497 x H 1,641mm 

무게

YRi-V : 약 1,480kg

YRi-V Type HS : 약 1,430kg

* 제품에 대한 자세한 사항 및 카탈로그는 문의 바랍니다. 

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